ASML heeft nu 6 klanten voor zijn revolutionaire EUV-machines

Het Veldhovense bedrijf ASML maakte woensdag opnieuw zeer solide cijfers bekend.

In het afgelopen kwartaal leverde de grootste chipmachinemaker ter wereld drie nieuwe EUV-machines af, die per stuk zo’n 100 miljoen euro kosten.

Dat betekent dat er in totaal nu zes stuks zijn afgeleverd bij klanten. Welke dat zijn, maakt ASML niet bekend. ASML heeft grote klanten als Intel, Samsung en het Taiwanese TSMC.

Er kwamen geen nieuwe bestellingen binnen voor de EUV-machines, maar volgens financieel directeur Wolfgang Nickl heeft dat te maken met de planning van klanten. In het lopende kwartaal moeten er weer nieuwe orders komen voor de peperdure machines.

EUV is een technologie die chipfabrikanten in staat stelt op grote schaal kleinere, maar krachtigere chips te maken. Hoe werkt het?

Het maken van chips

Chips 'bakken' begint met een laser die via een speciale glasplaat met een patroon een ronde schijf silicium belicht. Dat is een kristal ontstaan uit zand en de grondstof van elke halfgeleider, zoals die te vinden is in een telefoon of computer.

Op deze schijf is een laag aangebracht die reageert op licht. Door deze belichting ontstaat er op de schijf, ook wel een wafer genoemd, een patroon van elektrische circuits.

De machine bewerkt de schijf niet één maar wel dertig keer, en bouwt zo een driedimensionale chip van dertig laagjes bovenop elkaar. Het is een bijzonder nauwkeurig proces. De lagen moeten exact op elkaar passen, anders kunnen ze niet met elkaar communiceren.

Is het principe nog niet duidelijk? Bekijk dan deze verhelderende video van het Klokhuis.

De kunst is om de afstand tussen de lijntjes in het patroon te verkleinen. Dat is cruciaal voor de hoeveelheid informatie en rekenkracht die uiteindelijk in een chip kan. Vijftien jaar geleden konden chipmachines lijntjes op siliciumschijven produceren van 80 nanometer breed. Inmiddels is die dikte gedaald tot enkele tientallen nanometers.

Dat is ook de reden dat de rekenkracht van een desktop-computer nu in je broekzak past in de vorm van een  smartphone.

Kortere golflengte

Er is echter een beperkende factor, namelijk de golflengte van het licht dat je gebruikt. Net als een schilder die een kleiner penseel gebruikt om details te schilderen, kun je met een kleinere lichtgolf meer lijntjes kwijt op een chip.

De huidige generatie chipmachines gebruiken ultraviolet licht met een golflengte van 193 nanometer. ASML, dat in 1984 werd opgericht als een joint venture tussen ASM International en Philips, maakt al jaren dergelijke machines en is daarin zijn ze zelfs de grootste ter wereld.

Maar het bedrijf werkt al meer dan tien jaar aan een technologie om de volgende generatie chips te maken die nog weer kleiner zijn. De nieuwste machines maken gebruik van extreem ultraviolet licht (EUV) om lijntjes op een chip te schrijven. Door de korte golflengte van dit licht (13,5 nanometer) kan de afstand tussen de lijntjes tot een minimum worden beperkt.

Overname Cymer

De eerste prototypes van de EUV-machines werden al verscheept in 2011 en 2012. Maar bijna elk kwartaal sindsdien moest topman Peter Wennink van ASML melden dat de ontwikkeling van EUV-machines vertraging op had gelopen. Dat kwam onder meer door een geschil met het Californische Cymer over patenten, onthulde Wennink vorig jaar in het Financieele Dagblad.

Cymer ontwikkelde de lichtbron voor extreem ultraviolet licht voor de nieuwe chipmachines. "We hebben lang gesteggeld over het intellectuele eigendom van hun lichtbron die volledig geïntegreerd is in onze machines. Uiteindelijk hebben we het bedrijf overgenomen en vanaf dat moment gestaag voortgang geboekt. Maar het was drie jaar te laat."

ASML betaalde in 2012 1,95 miljard dollar voor Cymer.

Sindsdien ligt de ontwikkeling van de EUV-technologie op schema. "We hebben nog tot het einde van het decennium en tegen die tijd is EUV klaar, dus het moet elkaar kunnen overlappen. Maar als het niet lukt hebben we wel een issue, want wat gaat de klant dan doen?"

Hogere omzet dan verwacht

In het afgelopen kwartaal zag ASML de omzet en winst flink stijgen, bleek woensdag bij de presentatie van de resultaten. Dat komt deels doordat er een EUV-machine meer in verkocht dan in het tweede kwartaal.

De omzet steeg ten opzichte van een jaar eerder met 34 procent, tot ruim 2,4 miljard euro. De nettowinst lag met 41 procent hoger, op 557 miljoen euro.

Voor het lopende kwartaal voorziet ASML 2,1 miljard euro aan opbrengsten, minder dan waar analisten in doorsnee van uitgingen.

Wel zal de omzet over heel 2017 minstens een kwart hoger uitvallen, zo denkt het bedrijf. Ook 2018 ziet ASML zonnig in geholpen door de 5,7 miljard euro aan orders die nog op de plank liggen.