Een gebouw maken waarbij de afwijkingen niet groter dan 0,3 millimeter groot
mochten zijn, oftewel net iets meer dan de dikte van een ooghaar. Dat was de
uitdaging waarvoor chipmachinefabrikant ASML een groep bouw- en
installatiebedrijven een kleine 4 jaar geleden plaatste.
Donderdag is de nieuwe ‘cleanroom’, die wordt gebruikt voor de nieuwste
generatie machines, officieel geopend. "Wat is gebeurd, is uniek",
zegt Ron de Goeij van Van Aken Architecten namens het bouwteam. "Er
zijn geen referenties in de wereld hiervoor."
EUV-technologie
Behalve dat de bouwers erg nauwkeurig moesten zijn, was bij de start ook niet
precies te voorspellen hoe het gebouw er uiteindelijk uit kwam te zien. ASML
was namelijk ondertussen bezig met het ontwerp van de nieuwe, zeer complexe
machines.
De nieuwste machines van ASML maken gebruik van extreem ultraviolet licht
(EUV) om lijntjes op een chip te schrijven. Door de korte golflengte van dit
licht kan de afstand tussen de lijntjes tot een minimum (momenteel 16
nanometer) worden beperkt. Dat is cruciaal voor de hoeveelheid informatie en
rekenkracht die uiteindelijk in een chip kan, wat weer bepalend is voor de
volgende generatie computers en smartphones.
Grootste toeleverancier
Het Veldhovense bedrijf is de grootste chiptoeleverancier ter wereld. Vorige
week maakte
chipgigant Intel bekend 3,3 miljard in ASML te investeren, zodat het concern
ook volgende generaties machines kan ontwikkelen. Mogelijk gaan binnenkort
ook de Taiwanese chipproducent TSMC en het Zuid-Koreaanse conglomeraat
Samsung in op het aanbod. In totaal kunnen de drie 25 procent van ASML
verwerven.
Aangezien de machines op het niveau van een nanometer (een miljoenste van een
millimeter) werken, kan zelfs het kleinste vuiltje het proces verstoren.
Trillingen zijn uit den boze, waardoor in de constructie een halve
Eiffeltoren aan staal verwerkt moest worden. Ook mocht de vloer bij een
oppervlakte van een voetbalveld niet meer dan 1 millimeter in hoogte
verschillen. De lucht in de cleanroom is 10.000 keer schoner dan in een
operatiekamer.
Flexibel en snel
De bouwbedrijven moesten flexibel en snel handelen om het tempo van ASML te
kunnen bijhouden. "Waar we normaal gesproken vaak 5 jaar over dit soort
projecten doen, moest het nu in 1,5 jaar", zei Huub de Jong,
projectleider bij Cofely, een bedrijf dat de technische installaties leverde
voor de 43.000 vierkante meter aan cleanrooms.
In december 2010 kreeg Cofely te horen dat het elektrisch vermogen per cabine
moest worden verdubbeld. "We hadden toen al 80 procent van het ontwerp
af en konden weer helemaal opnieuw beginnen om te zorgen dat twee keer
zoveel technische installaties op dezelfde oppervlakte pasten. Met creatieve
oplossingen en 8 weken vertraging is het gelukt."
Lees ook:
Dit artikel is oorspronkelijk verschenen op z24.nl