Chipmachinefabrikant ASML haalt technologie die van groot belang is voor het slagen van zijn miljarden kostende EUV-project in eigen huis. Het Veldhovense bedrijf neemt voor omgerekend ruim 2,7 miljard euro zijn Taiwanese toeleverancier Hermes Microvision (HMI) over, maakte het donderdag bekend.
Zoals een timmerman alleen nauwkeurig kan werken door te meten, moet ook een chipproducent doorlopend controleren of zijn machines juist zijn ingesteld om schakelingen op halfgeleidermateriaal te etsen. Dat geldt ook voor de nieuwe EUV-machines (extreme ultraviolet) waar ASML aan werkt. Die moeten chipproducenten uiteindelijk in staat stellen op grote schaal kleinere, maar krachtigere chips te maken.
ASML en zijn belangrijkste klanten hebben al vele miljarden gestoken in de ontwikkeling van EUV. Momenteel wordt alleen nog proefgedraaid met de technologie, maar de verwachting is dat de machines binnen een paar jaar klaar zullen zijn voor massaproductie.
Nauwkeurigheid is daarbij van cruciaal belang. Om de testmachines te controleren en zo nodig bij te stellen, maakt ASML al twee jaar gebruik van de diensten van HMI. het Taiwanese bedrijf maakt speciale apparatuur en software om te meten of alle stappen goed zijn doorlopen.
Ontwikkeling versnellen
Door HMI over te nemen en de technologie in eigen huis te halen, hoopt ASML de ontwikkeling van EUV te versnellen. Eerder deed het Veldhovense technologiebedrijf dat ook al met Cymer. Dat Amerikaanse bedrijf maakt de lichtbron die wordt gebruikt voor de belichting van halfgeleidermateriaal in EUV-machines.
,,Deze overname is bedoeld om onze sterke productaanbieding nog sterker te maken'', zei ASML-topman Peter Wennink. ,,EUV gaat eraan komen. We moeten de volgende stap maken. De volgende stap in meet- en regeltechniek bij wat we al kunnen, is HMI.'' Ook het bestuur van het in 1998 opgerichte HMI staat achter de overname.
ASML financiert de deal deels in contanten, deels via eigen aandelen en voor een deel door de uitgifte van nieuwe aandelen. Naar verwachting wordt de transactie in het vierde kwartaal afgerond, na goedkeuring van toezichthouders in onder meer Taiwan en de Verenigde Staten.
Dit artikel is oorspronkelijk verschenen op z24.nl